Главная страница » Каталог оборудования » Аддитивные и вакуумно-плазменные технологии » Установки вакуумного напыления, PVD / CVD оборудование » Установка нанесения PVD покрытий ZY-DZ01 для металлических плёнок

Установка нанесения PVD покрытий ZY-DZ01 для металлических плёнок

Оценка 5 из 5

В избранное

АРТИКУЛ:

ZYDZ01

Товар в наличии

Минимальная сумма заказа в нашем магазине от 5000 руб.
Цены на нашем сайте актуальны при заказе от 20 000 рублей.

Характеристики

Модель: ZY-DZ01
Бренд: TMAX
Производитель: Xiamen Tmax Battery Equipments Limited
Страна производства: Китай
Метод нанесения покрытия: испарение металла из нескольких источников
Камера: цилиндрическая с вертикальной загрузкой и съемным внутренним вкладышем
Размер камеры: Ø 600 мм × 690 мм
Размер подложки: до 3 держателей по 250 мм
Неровность пленки: ±2 % по всей площади
Источники испарения: 2 группы
Температура нагрева: от комнатной (RT) до 300 ℃ ± 0.5 ℃
Управление: PLC + сенсорный экран
Габариты: 1750 × 1150 × 2000 мм
Мощность: ~7.4 кВт (питание AC 230 В, 32 А)
Назначение: лабораторные исследования и малосерийное производство
Гарантия: 12 месяцев
Цена: по запросу

ЗВОНИТЕ! +7 (499) 302-50-56

Поделиться товаром

Преимущества нашей продукции

Большой выбор оборудования на складе
Разработка и производство нестандартного оборудования для исследований
Поставка стандартного лабораторного и технологического оборудования
Поставка стандартного лабораторного и технологического оборудования
Комплексное снабжение государственных и муниципальных предприятий по 44-ФЗ и 223-ФЗ.
Являемся официальными представителями и дилерами многих зарубежных брендов
Собственное проектирование и изготовление лабораторного оборудования

Описание

ZY-DZ01 — установка нанесения PVD покрытий методом испарения металла из нескольких источников для лабораторных исследований и малосерийного производства. Система оснащена цилиндрической камерой с вертикальной загрузкой Ø600 × 690 мм, съёмным внутренним вкладышем, двумя группами испарительных источников и PLC‑управлением с сенсорным экраном. Равномерность плёнки ±2 % по всей площади и нагрев подложки до 300 ℃ позволяют использовать установку для стабильного вакуумного напыления металлических покрытий на держатели до 250 мм. Данное решение позволяет проводить полный цикл создания тонкопленочных структур в строго контролируемой инертной атмосфере, где уровень содержания кислорода и влаги не превышает 1 ppm. Оборудование специально адаптировано для работы с химически активными материалами, включая литий, магний и органические полупроводники для OLED-технологий.

Важным преимуществом системы является возможность сочетания методов термического испарения и атомно-слоевого осаждения в едином контуре, обеспечивая атомарную точность контроля толщины слоев. Благодаря использованию современных турбомолекулярных насосов и прецизионного кварцевого контроля, установка гарантирует субнанометровую точность напыления. Полная автоматизация на базе PLC-контроллера делает все процессы воспроизводимыми и надежными для пользователя.

Эта установка нанесения PVD покрытий востребована в солнечной энергетике, оптоэлектронике и передовом материаловедении для создания инновационных дисплеев и систем хранения энергии. Поставляемая компанией Lab-Steel, она является идеальным инструментом для лабораторий и малосерийных производств, стремящихся к достижению максимальной чистоты и качества полупроводниковых приборов.