Установки вакуумного напыления, PVD / CVD оборудование

  • Technol ZHD300

    Напылительная установка Technol ZHD300

    Модель: ZHD300
    Артикул: Technol-ZHD300-88
    Бренд: Technol
    Производитель: Beijing Technol Technology Co., Ltd.
    Страна производства: Китай
    Метод нанесения покрытия: испарение металла из нескольких источников
    Структура камеры: стеклянный колокол + нержавеющая сталь
    Размер камеры: 300 мм × 360 мм
    Размер подложки: 100 мм
    Неровность пленки: ≤ ±5 % на области 80 мм
    Источники испарения: 2 группы
    Температура нагрева: 20–250 ℃
    Управление: PLC + сенсорный экран
    Габариты: 1100 × 800 мм
    Мощность: ≥ 5 кВт
    Назначение: лабораторные исследования и малосерийное производство
    Цена: по запросу

    В избранное
  • Technol ZHD400

    Напылительная установка Technol ZHD400

    Модель: ZHD400
    Артикул: Technol-ZHD400-88
    Бренд: Technol
    Производитель: Beijing Technol Technology Co., Ltd.
    Страна производства: Китай
    Метод нанесения покрытия: резистивное испарение металлов и органики из нескольких источников
    Структура вакуумной камеры: корпус из SUS304, двери спереди и сзади
    Размер камеры: 400 мм × 440 мм × 450 мм
    Размер подложки: 120 мм × 120 мм, вращающаяся, с водяным охлаждением
    Неровность плёнки: ≤ ±5 %
    Источники испарения: 2 группы металлов + 4 группы органики и более
    Температура нагрева: до 300 ℃
    Управление: PLC / PC
    Габариты: ~2500 мм × ~1600 мм × ~1900 мм
    Мощность: ≥ 10 кВт
    Назначение: лаборатории, исследование материалов, малосерийное производство
    Цена: по запросу

    В избранное
  • Technol ZHD600

    Напылительная установка Technol ZHD600

    Модель: ZHD600
    Артикул: Technol-ZHD600-88
    Бренд: Technol
    Производитель: Beijing Technol Technology Co., Ltd.
    Страна производства: Китай
    Метод нанесения покрытия: вакуумное напыление методом резистивного испарения (PVD) из нескольких источников
    Структура вакуумной камеры: вертикальная цилиндрическая камера с фронтальной дверью
    Размер вакуумной камеры: 650 мм × 800 мм
    Диапазон температуры нагрева: от комнатной температуры до 300 °С
    Размер стола подложки: плоский или зонтичный тип
    Неравномерность толщины плёнки: ≤ ±5 %
    Испарительные источники: 2–3 группы источников металлов
    Метод управления: PLC / ПК (сенсорный интерфейс)
    Габариты установки: 1000 мм × 1200 мм × 1900 мм
    Мощность: ≥ 12 кВт
    Области применения: лаборатории, НИИ, исследование новых материалов, перовскитные солнечные элементы, литиевые батареи
    Цена: по запросу

    В избранное
  • Technol ZHDS500

    Напылительная установка Technol ZHDS500

    Модель: ZHDS500
    Артикул: Technol-ZHDS500-88
    Бренд: Technol
    Производитель: Beijing Technol Technology Co., Ltd.
    Страна производства: Китай
    Метод нанесения покрытия: металлическое + органическое испарение
    Конструкция вакуумной камеры: квадратная SUS304, двери спереди и сзади
    Размер вакуумной камеры: 500 мм × 500 мм × 650 мм
    Диапазон нагрева: от комнатной температуры до 300 °С
    Размер стола подложки: выдвижной тип, 220 мм × 220 мм
    Неравномерность плёнки: ≤ ±5 %
    Источники испарения: 4–6 комплектов (металлические и органические)
    Мониторинг толщины плёнки: кварцевый датчик, отечественный или импортный
    Метод управления: PLC / ПК (опционально)
    Габариты установки: 2500 мм × 1600 мм × 1900 мм
    Мощность: ≥ 12 кВт (трёхфазная пятипроводная система)
    Особенности: интеграция с перчаточным боксом
    Цена: по запросу

    В избранное
  • TMAX BY ZD

    Установка вакуумного напыления TMAX-BY-ZD

    Модель: TMAX-BY-ZD
    Артикул: TMAX-BY-ZD-88
    Бренд: TMAX
    Производитель: Xiamen TMAX Battery Equipments Limited
    Страна производства: Китай
    Габариты: 305 × 400 × 390 мм
    Материал вакуумной камеры: боросиликатное стекло 160 × 110 мм
    Верхний электрод (мишень): 50 × 0,1 мм
    Металлы для распыления: золото (стандарт), опционально серебро, платина и медь
    Размер мишени: 50 мм
    Держатель образца: 50 мм / 70 мм (опционально)
    Напряжение распыления: 0–1600 В
    Ток распыления: 0–50 мА
    Таймер распыления: 0–360 с
    Ток испарения углерода: 0–100 А
    Материал испарения: углеродное волокно
    Напряжение испарения: 0–30 В
    Время испарения: 0–1 с
    Газовый ввод: под трубку 3 мм
    Рабочие газы: несколько видов
    Электропитание: 220 В, 50 Гц (опционально 110 В)
    Вакуумный насос: двухступенчатый пластинчато-роторный VRD-8, 2 л
    Мощность: 2000 Вт
    Сертификация: CE
    Цена: по запросу

    В избранное
  • TMAX BY ZD03

    Установка вакуумного напыления TMAX-BY-ZD03

    Модель: TMAX-BY-ZD03
    Артикул: TMAX-BY-ZD03-88
    Бренд: TMAX
    Производитель: Xiamen TMAX Battery Equipments Limited
    Страна производства: Китай
    Скорость откачки: 8 м³/ч (2,2 л/с) при 50 Гц / 9,6 м³/ч (2,6 л/с) при 60 Гц
    Предельный вакуум: 2 Па
    Время вакуумирования: < 5 мин (до 2 Па)
    Рабочее давление распыления: 20–8 Па
    Рабочее давление испарения: 6–4 Па
    Измерение вакуума: до 2×10 мбар
    Размер камеры: 150 × 120 мм, кварцевое стекло
    Максимальный ток распыления: 100 мА
    Мишени: золото (стандарт), опционально серебро, платина, хром, алюминий, медь
    Размер мишени: 50 мм
    Держатель образца: 50 / 70 мм, регулируемая высота
    Напряжение напыления: 0–1600 В
    Ток напыления: 0–50 мА
    Время напыления: 0–360 с
    Материал испарения: углеродное волокно
    Ток испарения: 0–100 А
    Напряжение испарения: 0–30 В
    Время испарения: 0–1 с
    Электропитание: 220 В 50 Гц (возможен вариант 110 В)
    Потребляемая мощность: < 2000 Вт
    Охлаждение: воздушное + водяное
    Габариты распылителя: 360 × 300 × 380 мм
    Габариты испарителя: 360 × 300 × 160 мм
    Масса: 55 кг
    Сертификация: CE
    Цена: по запросу

    В избранное
  • TMAX BY ZD05

    Установка вакуумного напыления TMAX-BY-ZD05

    Модель: TMAX-BY-ZD05
    Артикул: TMAX-BY-ZD05-88
    Бренд: TMAX
    Производитель: Xiamen TMAX Battery Equipments Limited
    Страна производства: Китай
    Габариты установки: 305 × 400 × 390 мм
    Материал вакуумной камеры: боросиликатное стекло, 160 × 110 мм
    Верхний электрод (таргет): 50 мм × 0,1 мм
    Поддерживаемые мишени: золото (стандарт), опционально серебро, платина и др.
    Размер мишени: 50 мм
    Держатель образца: 50 мм / 70 мм, (опционально)
    Напряжение распыления: 0–1600 В (постоянное)
    Ток распыления: 0–50 мА
    Таймер распыления: 0–360 с
    Ток испарения (углерод): 0–100 А (переменный)
    Материал испарения: углеродное волокно
    Напряжение испарения: 0–30 В
    Время испарения: 0–1 с
    Газовый ввод: под трубку 3 мм
    Поддерживаемые газы: несколько типов (аргон и др.)
    Электропитание: 220 В, 50 Гц (доступно 110 В)
    Вакуумный насос: двухступенчатый пластинчато-роторный VRD-8, 2 л
    Мощность: 2000 Вт
    Сертификация: CE
    Цена: по запросу

    В избранное
  • TMAX PD ZD01

    Установка вакуумного напыления TMAX-PD-ZD01

    Модель: TMAX-PD-ZD01
    Артикул: TMAX-PD-ZD01-88
    Бренд: TMAX
    Производитель: Xiamen TMAX Battery Equipments Limited
    Страна производства: Китай
    Модель: TMAX-PD-ZD01
    Тип системы: высоковакуумная PVD-установка для тонких плёнок
    Входная мощность: 2000 Вт
    Материал камеры: нержавеющая сталь 304
    Конструкция камеры: цилиндрическая, 260 × 350 мм
    Рабочая зона: 260 × 310 мм
    Предельный вакуум: ≤ 5×10⁻⁵ Па
    Скорость откачки: ≤ 8×10⁻⁴ Па за 30 минут, удержание ≤ 5 Па в течение 12 часов
    Размер подложки: до 80×80 мм или 120 мм (вращающаяся)
    Вращение подложки: 0–20 об/мин (магнитная жидкостная система)
    Равномерность покрытия: < 5 %
    Источники испарения: 2–3 (металлы / органика)
    Режимы работы: ко-испарение и поочередное напыление
    Питание: AC 220 В / 50 Гц, потребление 3,5 кВт
    Блок питания: 2 кВт, режим стабилизации тока/мощности
    Габариты (основная версия): 600×500×900 мм
    Габариты настольной версии: 500×360×420 мм
    Сертификация: CE
    Цена: по запросу

    В избранное
  • TMAX TK ZD02

    Установка вакуумного напыления TMAX-TK-ZD02

    Модель: TMAX-TK-ZD02
    Артикул: TMAX-TK-ZD02-88
    Бренд: TMAX
    Производитель: Xiamen TMAX Battery Equipments Limited
    Страна производства: Китай
    Метод нанесения: испарение металлов из нескольких источников
    Конструкция камеры: вертикальная квадратная, фронтальное открывание
    Размер вакуумной камеры: 400 мм × высота 500 мм, нержавеющая сталь 304
    Предельный вакуум: ≤ 6,0 × 10⁻⁴ Па
    Время откачки: ≤ 45 мин (атмосфера → 10⁻⁴ Па)
    Насосы: молекулярный FF-200/1200 (1200 л/с) + роторный TRP-36 (9 л/с)
    Вакуумные клапаны: GDQ-200 (основной), GDQ-40 (байпасный)
    Температура нагрева: от комнатной до 300 °C
    Размер подложки: 120 × 120 мм (опционально)
    Равномерность покрытия: ≤ ±5 %
    Источники испарения: 3 группы (лодочки + нити для металлов)
    Толщинометр: кварцевый датчик (опция)
    Управление: PLC + сенсорный экран
    Защита: сигнализация о нехватке воды, перенапряжениях, перегрузках
    Требуемая мощность: ≥ 8 кВт
    Габариты: 1710 × 850 × 1850 мм
    Цена: по запросу

    В избранное
  • TMAX‑QH‑ZD02

    Установка вакуумного напыления TMAX‑QH‑ZD02

    Модель: TMAX‑QH‑ZD02
    Артикул: TMAX‑QH‑ZD02-88
    Бренд: TMAX
    Производитель: Xiamen Tmax Battery Equipments Limited
    Страна производства: Китай
    Максимальное вакуумное давление: ≤ 4 × 10⁻⁵ Па
    Рабочее вакуумное давление: 5 × 10⁻⁴ Па (время откачки до этого уровня <30 мин)
    Давление удержания после отключения насоса: ≤ 2 Па в течение 12 часов
    Размер образца: 130 мм × 130 мм или 16 × 25 × 25 мм
    Источники испарения: 4 металлических + 4 органических
    Равномерность плёнки: ±5 % при толщине 100 нм
    Подложкодержатель: вращение 0–30 об/мин, водяное охлаждение
    Загрузка образцов: боковая вставка, фронтальная дверца камеры
    Метод управления: автоматический контроль мощности, температуры, скорости напыления
    Назначение: OLED, перовскиты, органические солнечные элементы, 2D материалы, наноплёнки
    Цена: по запросу

    В избранное

Оформить заказ

Для оформления заказа заполните форму и наш инженер свяжется с вами в ближайшее время!

Заказывайте также по телефону или по электронной почте:

Современные установки вакуумного напыления — это ключевое технологическое оборудование для лабораторий, НИИ, промышленных предприятий и компаний, работающих в сфере микроэлектроники, оптоэлектроники, нанотехнологий и материаловедения. В этом разделе каталога представлены профессиональные решения для нанесения тонкоплёночных покрытий методами магнетронного распыления, резистивного испарения, термического испарения, электронно-лучевого напыления и других разновидностей PVD-технологий.

Каталог объединяет широкий спектр систем — от компактных настольных аппаратов для SEM/TEM-подготовки образцов до полноразмерных производственных PVD-установок. Представленные модели отличаются высокой точностью, стабильностью вакуума, гибкостью конфигурации и возможностью интеграции с перчаточными боксами. В частности, линейки Technol (серии ZHD и ZHDS) и TMAX (серии BY, PD, QH, TK) включают установки с разными уровнями производительности, что позволяет подобрать оптимальное решение под задачи любого масштаба — от НИОКР до малосерийного производства.

Оборудование поддерживает многослойное и комбинированное напыление, испарение металлов и органики, работу с несколькими источниками и получение высококачественных плёнок с равномерностью ≤ ±5 %. Многие модели оснащены системой автоматизированного контроля параметров, включая управление мощностью, скоростью напыления, температурой и вакуумом.

Тонкоплёночные системы, представленные в каталоге, поддерживают использование различных испарительных источников — металлических лодочек, нитей, органических контейнеров и углеродного волокна. Это делает их универсальными для задач в области OLED-материалов, перовскитных солнечных элементов, литиевых батарей, исследовательских структур и оптических покрытий. Вакуумные камеры из нержавеющей стали, кварцевого или боросиликатного стекла обеспечивают стабильный процесс нанесения, а насосные системы достигают глубокого вакуума вплоть до 10⁻⁵ Па.

Раздел ориентирован на специалистов, которым требуется вакуумная напылительная установка, или PVD-система под конкретные технологические задачи. Здесь вы можете подобрать оборудование для нанесения металлических, органических, диэлектрических и композитных плёнок, а также углеродных покрытий толщиной менее 1 нм, необходимых в электронной микроскопии.

Ассортимент регулярно расширяется, включая решения от ведущих мировых производителей, чтобы вы могли легко выбрать установку магнетронного напыления. Все модели содержат подробные технические характеристики, что делает каталог удобным инструментом для выбора оборудования.

Подбор оборудования

Вид оборудования
Страна производства
Производитель
Мощность