Надежное лабораторное и промышленное оборудование от экспертов
Главная страница » Каталог оборудования » Аддитивные и вакуумно-плазменные технологии » Установки вакуумного напыления, PVD / CVD оборудование
Отображение 1–16 из 48
Бренд: ZYLAB
Производитель: ZYLAB Solution
Страна производства: Китай
Модель: PECVD‑1200‑80
Максимальная температура: до 1200 °C
Непрерывная рабочая температура: до 1100 °C
Скорость нагрева: ≤ 20 °C/мин
РЧ источник питания: 300/500 Вт, 13.56 МГц
Трубка: Φ80 × 1200 мм
Вакуум: до ≤ 10 Па
Электропитание: 220 В, 4 кВт
Цена: по запросу
Бренд: ZYLAB
Производитель: ZYLAB Solution
Страна производства: Китай
Модель: FB1200-VT3
Максимальная температура: до ~1150 °C
Электропитание: 380 В, трёхфазное, 50 Гц
Номинальная мощность: 8 кВт
Количество зон нагрева: 3 зоны, независимое управление
Размер зоны нагрева: φ150 × (200 + 400 + 200) мм
Контроллер / точность: ±1 °C
Вакуум: ≤ 10 Па (механический насос)
Трубка: высокочистый кварц, фильтрующая пластина 16–40 мкм
Вес: ≈ 260 кг
Цена: по запросу
Модель: ZHDS500
Артикул: Technol-ZHDS500-88
Бренд: Technol
Производитель: Beijing Technol Technology Co., Ltd.
Страна производства: Китай
Метод нанесения покрытия: металлическое + органическое испарение
Конструкция вакуумной камеры: квадратная SUS304, двери спереди и сзади
Размер вакуумной камеры: 500 мм × 500 мм × 650 мм
Диапазон нагрева: от комнатной температуры до 300 °С
Размер стола подложки: выдвижной тип, 220 мм × 220 мм
Неравномерность плёнки: ≤ ±5 %
Источники испарения: 4–6 комплектов (металлические и органические)
Мониторинг толщины плёнки: кварцевый датчик, отечественный или импортный
Метод управления: PLC / ПК (опционально)
Габариты установки: 2500 мм × 1600 мм × 1900 мм
Мощность: ≥ 12 кВт (трёхфазная пятипроводная система)
Особенности: интеграция с перчаточным боксом
Цена: по запросу
Модель: TMAX‑QH‑ZD02
Артикул: TMAX‑QH‑ZD02-88
Бренд: TMAX
Производитель: Xiamen Tmax Battery Equipments Limited
Страна производства: Китай
Максимальное вакуумное давление: ≤ 4 × 10⁻⁵ Па
Рабочее вакуумное давление: 5 × 10⁻⁴ Па (время откачки до этого уровня <30 мин)
Давление удержания после отключения насоса: ≤ 2 Па в течение 12 часов
Размер образца: 130 мм × 130 мм или 16 × 25 × 25 мм
Источники испарения: 4 металлических + 4 органических
Равномерность плёнки: ±5 % при толщине 100 нм
Подложкодержатель: вращение 0–30 об/мин, водяное охлаждение
Загрузка образцов: боковая вставка, фронтальная дверца камеры
Метод управления: автоматический контроль мощности, температуры, скорости напыления
Назначение: OLED, перовскиты, органические солнечные элементы, 2D материалы, наноплёнки
Цена: по запросу
Модель: ZHD400
Артикул: Technol-ZHD400-88
Бренд: Technol
Производитель: Beijing Technol Technology Co., Ltd.
Страна производства: Китай
Метод нанесения покрытия: резистивное испарение металлов и органики из нескольких источников
Структура вакуумной камеры: корпус из SUS304, двери спереди и сзади
Размер камеры: 400 мм × 440 мм × 450 мм
Размер подложки: 120 мм × 120 мм, вращающаяся, с водяным охлаждением
Неровность плёнки: ≤ ±5 %
Источники испарения: 2 группы металлов + 4 группы органики и более
Температура нагрева: до 300 ℃
Управление: PLC / PC
Габариты: ~2500 мм × ~1600 мм × ~1900 мм
Мощность: ≥ 10 кВт
Назначение: лаборатории, исследование материалов, малосерийное производство
Цена: по запросу
Модель: HZ-ZD01
Бренд: TMAX
Производитель: Xiamen Tmax Battery Equipments Limited
Страна производства: Китай
Метод напыления: низкотемпературное импульсное термическое испарение
Тип источника испарения: импульсный планарный W-образный источник
Камера: ультракомпактная конструкция
Размер камеры: Ø 120 мм × 100 мм
Рабочий вакуум: 2–8 Па (разрешение дисплея 0,1 Па)
Предельный вакуум: <1 Па
Вакуумная система: пластинчато-роторный насос
Измерение вакуума: датчик Пирани с мониторингом в реальном времени
Параметры испарения: напряжение 0–10 В (DC), максимальный ток 80 А
Время испарения: 100 мс – 1 с (регулируемое)
Управление: полностью автоматизированное интеллектуальное управление
Электропитание: 100–250 В (AC), 50/60 Гц
Габариты установки: 530 мм × 300 мм × 320 мм
Назначение: высококачественное нанесение углеродных пленок, пробоподготовка для материаловедческих исследований
Гарантия: 12 месяцев
Цена: по запросу
Модель: ZY-ZD01
Бренд: TMAX
Производитель: Xiamen Tmax Battery Equipments Limited
Страна производства: Китай
Метод напыления: углеродное напыление углеродной нитью, двухступенчатый нагрев
Камера: компактная вакуумная камера
Размер камеры: Ø150 мм × 110 мм
Размер предметного столика: Ø60 мм
Вакуумная система: прямоприводный пластинчато-роторный насос, 8 м³/ч, малошумное исполнение
Контроль вакуума: вакуумметр Пирани с аналоговой индикацией
Максимальный ток испарения: около 100 А
Время испарения: регулируемое, 0–1 с
Режимы работы: автоматическое вакуумирование и напуск воздуха
Габариты: 400 × 450 × 300 мм
Входная мощность: 2000 Вт
Сертификация: CE
Назначение: подготовка образцов для SEM и EDS
Гарантия: 12 месяцев
Цена: по запросу
Модель: BY-JS04
Бренд: TMAX
Производитель: Xiamen Tmax Battery Equipments Limited
Страна производства: Китай
Метод напыления: высоковакуумное магнетронное распыление
Камера: цилиндрическая колба из боросиликатного стекла
Размер камеры: Ø180 мм × 240 мм
Размер подложки: предметный столик Ø180 мм (совместим с оснасткой Ø80 мм)
Предельный вакуум: (базовое давление)≤ 5 × 10⁻⁴ Па
Вакуумная система: турбомолекулярный насос (80 л/с) и двухступенчатый форвакуумный насос
Габариты мишеней: Ø60–80 мм (для слабомагнитных материалов)
Материал мишеней: Au 60×0.1 мм (в комплекте); Ag, Pt (опционально)
Ток распыления: 0–500 мА
Рабочий газ: поддержка различных газов (например, Ar)
Управление: ручное
Рабочее напряжение: 220 В, 50 Гц
Назначение: университетские лаборатории, НИОКР, пробоподготовка для РЭМ
Гарантия: 12 месяцев
Цена: по запросу
Модель: PC-DZ03
Бренд: TMAX
Производитель: Xiamen Tmax Battery Equipments Limited
Страна производства: Китай
Метод напыления: электронно-лучевое испарение (в комплекте); термическое резистивное испарение (опционально)
Камера: U-образная конструкция с фронтальной загрузкой
Размер камеры: 800 мм × 600 мм × 600 мм
Размер подложки: до 4 дюймов
Скорость вращения подложки: 5–60 об/мин (с плавной регулировкой)
Расстояние от источника до подложки: 300–350 мм
Температура нагрева подложки: до 800 ℃ ±1 ℃
Предельный вакуум (базовое давление): ≤ 6,7 × 10⁻⁴ Па
Время откачки: ≤ 20 мин (от 1 × 10⁻¹ Па до 5 × 10⁻⁴ Па)
Скорость натекания (утечка): ≤ 6,7 × 10⁻⁷ Па·л/с
Контроль толщины: кварцевые микровесы (QCM), диапазон измерений 0–99 999 Å
Управление: ручное (нагрев и заслонка образца); 1-канальный регулятор массового расхода (MFC)
Входная мощность: 2000 Вт
Назначение: университетские лаборатории, научно-исследовательские институты, мелкосерийное производство
Гарантия: 12 месяцев
Цена: по запросу
Модель: QH-DZ01
Бренд: TMAX
Производитель: Xiamen Tmax Battery Equipments Limited
Страна производства: Китай
Метод напыления: электронно-лучевое испарение и термическое резистивное испарение
Источники испарения: электронная пушка и резистивные испарители
Камера: камера с фронтальной дверцей (ручное открывание)
Размер подложки: 100 × 100 мм (опционально возможно увеличение держателя до 200 × 200 мм)
Размер держателя образца: 126 × 126 мм (2 шт.)
Расстояние испарения: 330 ± 20 мм
Равномерность пленки: ≤ ±3 % (проверка по 9 точкам на площади 10 × 10 см²)
Температура нагрева подложки: до 300 °C ±1 °C
Предельный вакуум: ≤ 6 × 10⁻⁵ Па (после прогрева, для нового оборудования)
Рабочий вакуум: 7 × 10⁻⁴ Па (достигается менее чем за 40 мин)
Скорость натекания (утечка): ≤ 6,7 × 10⁻⁸ Па·л/с
Удержание давления в системе: ≤ 10 Па через 12 часов (после выключения)
Управление: автоматическое управление вакуумной откачкой; управление осаждением за счет регулировки мощности источников
Входная мощность: 2 кВт
Мощность электронной пушки: 6 кВт
Назначение: оптика и фотоника, полупроводники и электроника, лабораторные исследования (НИОКР), нанесение промышленных покрытий
Сертификация: CE
Гарантия: 12 месяцев
Цена: по запросу
Бренд: ZYLAB
Производитель: ZYLAB Solution
Страна производства: Китай
Диаметр трубки: 50 / 60 / 80 / 100 мм
Рабочая температура: до 1150 °С
Длина зоны нагрева: 440 мм
Скорость нагрева: до 20 °С/мин
Электропитание: 220 В, 4 кВт
Порты подачи газа: 2–4
Диапазон потока газа: 20–250 или 20–800 мл/мин
Рабочее давление: 0–0,15 МПа
Низкий вакуум: до 10 Па
Высокий вакуум: до 10⁻⁵ Па
Вакуумные системы: 110, 600, 700 л/с
Цена: по запросу
Модель: BY-JS02
Бренд: TMAX
Производитель: Xiamen Tmax Battery Equipments Limited
Страна производства: Китай
Метод нанесения покрытия: ионное распыление постоянным током (DC sputtering)
Тип покрытия: углеродное покрытие
Принцип работы: двухэлектродное DC-распыление
Камера: стеклянный колокол + резиновое уплотнение + высоковольтный электрод с керамической изоляцией
Размер камеры: Ø160 мм × 120 мм
Размер подложки: Ø50 мм / Ø70 мм (регулируемый держатель)
Размер мишени: 50 мм × 0,1 мм (толщина)
Материалы мишени: Au (стандарт), Ag, Al, Pt и др. (опционально)
Рабочий газ: Ar, N₂ и другие
Вакуумная система: вакуумный насос (в комплекте)
Ток распыления: до 50 мА
Скорость осаждения: >4 нм/мин
Система контроля: вакуумметр + амперметр + регулятор тока + микровакуумный клапан + таймер
Питание: 220 В переменного тока (110 В опционально), 50 Гц
Назначение: подготовка образцов для РЭМ, нанесение проводящих покрытий, лабораторные исследования
Гарантия: 12 месяцев
Цена: по запросу
Модель: SD-JS01
Бренд: TMAX
Производитель: Xiamen Tmax Battery Equipments Limited
Страна производства: Китай
Метод напыления: высокочастотное (ВЧ) магнетронное распыление
Размер камеры: 150 мм × 120 мм
Размер мишени: Ø 50 мм (допустимая толщина 1–2 мм)
Зона напыления: 50 мм
Предельный вакуум (базовое давление): 5 Па
Рабочие газы: аргон (Ar), азот (N2) и другие инертные газы
Мощность ВЧ-генератора: 1–500 Вт (регулируемая)
Рабочая частота: 13,56 МГц
Согласующее устройство: встроенный автоматический измеритель (согласователь) импеданса
Максимальная скорость осаждения: до 8 нм/мин
Управление: программируемое, с возможностью сохранения технологических рецептов
Назначение: НИОКР, полупроводники, диэлектрики, оптические покрытия, пробоподготовка
Гарантия: 12 месяцев
Цена: по запросу
Модель: TMAX-PD-ZD01
Артикул: TMAX-PD-ZD01-88
Бренд: TMAX
Производитель: Xiamen TMAX Battery Equipments Limited
Страна производства: Китай
Модель: TMAX-PD-ZD01
Тип системы: высоковакуумная PVD-установка для тонких плёнок
Входная мощность: 2000 Вт
Материал камеры: нержавеющая сталь 304
Конструкция камеры: цилиндрическая, 260 × 350 мм
Рабочая зона: 260 × 310 мм
Предельный вакуум: ≤ 5×10⁻⁵ Па
Скорость откачки: ≤ 8×10⁻⁴ Па за 30 минут, удержание ≤ 5 Па в течение 12 часов
Размер подложки: до 80×80 мм или 120 мм (вращающаяся)
Вращение подложки: 0–20 об/мин (магнитная жидкостная система)
Равномерность покрытия: < 5 %
Источники испарения: 2–3 (металлы / органика)
Режимы работы: ко-испарение и поочередное напыление
Питание: AC 220 В / 50 Гц, потребление 3,5 кВт
Блок питания: 2 кВт, режим стабилизации тока/мощности
Габариты (основная версия): 600×500×900 мм
Габариты настольной версии: 500×360×420 мм
Сертификация: CE
Цена: по запросу
Модель: BY-ZD04
Бренд: TMAX
Производитель: Xiamen Tmax Battery Equipments Limited
Страна производства: Китай
Метод напыления: вакуумное испарение из двух независимых металлических источников
Камера: стеклянный колпак с основанием из нержавеющей стали
Размер камеры: Ø300 мм × 360 мм
Размер подложки: до Ø100 мм
Температура нагрева подложки: от комнатной температуры до 250 ℃
Равномерность покрытия: ≤ ±5,0 % в зоне Ø80 мм
Источники испарения: 2 независимых источника
Система управления: ПЛК с сенсорным интерфейсом
Габариты установки: 1100 × 800 мм
Требуемая мощность: не менее 5 кВт
Входная мощность: 2000 Вт
Назначение: напыление многослойных металлических и органических пленок, исследования в электронике
Гарантия: 12 месяцев
Цена: по запросу
Модель: HZ-JS04
Бренд: TMAX
Производитель: Xiamen Tmax Battery Equipments Limited
Страна производства: Китай
Метод напыления: магнетронное ионное распыление
Конфигурация источников: двухкатодная, с независимым управлением мишенями и возможностью попеременного или совместного распыления
Вакуумная система: безмасляный диафрагменный насос + турбомолекулярный насос
Предельный вакуум: ≤ 1,0 × 10⁻⁴ Па
Контроль давления: полнофункциональный датчик с холодным катодом + форвакуумный датчик Пирани
Газовая система: MFC для Ar / O₂ / N₂
Совместимые материалы мишеней: металлы, сплавы, соединения; размеры по согласованию
Назначение: нанесение однослойных, многослойных и градиентных тонких пленок
Гарантия: 12 месяцев
Цена: по запросу
Для оформления заказа заполните форму и наш инженер свяжется с вами в ближайшее время!
Заказывайте также по телефону или по электронной почте:
Установка вакуумного напыления применяется для формирования тонкоплёночных покрытий на металлических, керамических, полимерных и композиционных материалах. Такие технологии востребованы в машиностроении, инструментальном производстве, микроэлектронике, приборостроении, медицинской промышленности и научно-исследовательской деятельности.
Вакуумное напыление позволяет получать покрытия с высокой адгезией, контролируемой толщиной и заданными функциональными характеристиками. В зависимости от требований к материалу покрытия и особенностей технологического процесса могут использоваться различные методы осаждения, включая физические и химические процессы формирования плёнок в вакуумной среде.
Современные установки вакуумного напыления оснащаются вакуумными камерами, системами откачки, источниками испарения или распыления материалов, средствами подачи технологических газов и автоматизированными системами управления. Контроль параметров процесса обеспечивает стабильность характеристик покрытия и воспроизводимость результатов как в исследовательских работах, так и в серийном производстве.
Оборудование для вакуумного напыления используется для повышения износостойкости, коррозионной стойкости, твёрдости и декоративных свойств изделий. Кроме того, технологии нанесения покрытий применяются при изготовлении оптических элементов, электронных компонентов, режущего инструмента и изделий специального назначения.
В данном разделе представлены установки вакуумного напыления для различных технологических задач. В зависимости от требований к процессу и свойствам покрытия доступны решения на основе различных методов осаждения, включая оборудование для физических и химических технологий нанесения покрытий в вакууме.
Специалисты компании помогут подобрать установку вакуумного напыления с учётом типа обрабатываемых изделий, требуемой производительности, состава покрытия и особенностей производственного процесса.
Оставьте Ваши контакты и мы Вам перезвоним