Современные установки вакуумного напыления — это ключевое технологическое оборудование для лабораторий, НИИ, промышленных предприятий и компаний, работающих в сфере микроэлектроники, оптоэлектроники, нанотехнологий и материаловедения. В этом разделе каталога представлены профессиональные решения для нанесения тонкоплёночных покрытий методами магнетронного распыления, резистивного испарения, термического испарения, электронно-лучевого напыления и других разновидностей PVD-технологий.
Каталог объединяет широкий спектр систем — от компактных настольных аппаратов для SEM/TEM-подготовки образцов до полноразмерных производственных PVD-установок. Представленные модели отличаются высокой точностью, стабильностью вакуума, гибкостью конфигурации и возможностью интеграции с перчаточными боксами. В частности, линейки Technol (серии ZHD и ZHDS) и TMAX (серии BY, PD, QH, TK) включают установки с разными уровнями производительности, что позволяет подобрать оптимальное решение под задачи любого масштаба — от НИОКР до малосерийного производства.
Оборудование поддерживает многослойное и комбинированное напыление, испарение металлов и органики, работу с несколькими источниками и получение высококачественных плёнок с равномерностью ≤ ±5 %. Многие модели оснащены системой автоматизированного контроля параметров, включая управление мощностью, скоростью напыления, температурой и вакуумом.
Тонкоплёночные системы, представленные в каталоге, поддерживают использование различных испарительных источников — металлических лодочек, нитей, органических контейнеров и углеродного волокна. Это делает их универсальными для задач в области OLED-материалов, перовскитных солнечных элементов, литиевых батарей, исследовательских структур и оптических покрытий. Вакуумные камеры из нержавеющей стали, кварцевого или боросиликатного стекла обеспечивают стабильный процесс нанесения, а насосные системы достигают глубокого вакуума вплоть до 10⁻⁵ Па.
Раздел ориентирован на специалистов, которым требуется вакуумная напылительная установка, или PVD-система под конкретные технологические задачи. Здесь вы можете подобрать оборудование для нанесения металлических, органических, диэлектрических и композитных плёнок, а также углеродных покрытий толщиной менее 1 нм, необходимых в электронной микроскопии.
Ассортимент регулярно расширяется, включая решения от ведущих мировых производителей, чтобы вы могли легко выбрать установку магнетронного напыления. Все модели содержат подробные технические характеристики, что делает каталог удобным инструментом для выбора оборудования.