Установка вакуумного напыления TMAX-TK-ZD02

Установка вакуумного напыления TMAX-TK-ZD02 — это профессиональная PVD-система для многокомпонентного нанесения тонких плёнок, разработанная для научных лабораторий, исследовательских центров и пилотных производств. Она позволяет наносить металлы (Al, Ag, Au и др.), органические соединения и композитные материалы, обеспечивая однослойные, многослойные и комбинированные покрытия с высокой точностью и воспроизводимостью. Благодаря модульной конструкции камера демонстрирует высокую стабильность вакуума и низкий уровень утечек.

Современная вакуумная система на базе молекулярного и роторного насосов обеспечивает достижение давления ≤ 6,0 × 10⁻⁴ Па, а время откачки до уровня 10⁻⁴ Па составляет не более 45 минут. Конструкция из нержавеющей стали 304 и комбинированные металлическо-фторкаучуковые уплотнения минимизируют утечки и повышают долговечность оборудования. Подложкодержатель 120 × 120 мм, возможность нагрева до 300 °C и равномерность плёнки ≤ ±5 % делают установку универсальной для широкого спектра исследований и малосерийных производственных задач.

Управление осуществляется с помощью PLC и сенсорного экрана, что обеспечивает гибкость настройки параметров, создание технологических профилей и высокую повторяемость процессов. Возможность установки кварцевого датчика толщины расширяет функциональность и позволяет добиваться ещё более высокой точности контроля покрытия. Благодаря мощности ≥ 8 кВт и компактным габаритам установка отлично подходит как для университетских лабораторий, так и для промышленных пилотных линий.