Установка вакуумного напыления TMAX-BY-ZD

Установка вакуумного напыления TMAX-BY-ZD — это компактная лабораторная система, объединяющая функции ионного магнетронного распыления и термического испарения углеродного волокна. Она разработана для получения высококачественных металлических и углеродных тонких плёнок, которые применяются при подготовке образцов для сканирующей и трансмиссионной электронной микроскопии (SEM, TEM), EBSD и других методов анализа поверхности.

Вакуумная камера из боросиликатного стекла позволяет визуально контролировать процесс, обеспечивая чистоту и стабильность покрытия. Диапазон напряжения 0–1600 В и регулируемый ток 0–50 мА обеспечивают гибкое управление скоростью ионного распыления, что важно для формирования равномерных металлических слоёв. Термическое испарение углеродного волокна с током до 100 А позволяет получать ультратонкие углеродные плёнки толщиной менее 1 нм, необходимые для высокоточной электронной микроскопии.

Система поддерживает широкий выбор рабочих газов и позволяет точно регулировать давление, ток и время обработки. Компактные размеры 305 × 400 × 390 мм делают установку удобной для размещения в лабораторном перчаточном боксе, что обеспечивает напыление в инертной атмосфере и предотвращает окисление чувствительных образцов.

TMAX-BY-ZD отличается высокой скоростью работы, равномерностью покрытия и надёжностью. Автоматические системы защиты предотвращают повреждение оборудования при перебоях вакуума или коротком замыкании. Эта установка идеально подходит для университетских лабораторий, исследовательских центров и промышленных подразделений, занимающихся микроскопией, материаловедением, микро- и наноэлектроникой.