Главная страница » Каталог оборудования » Аддитивные и вакуумно-плазменные технологии » Установки вакуумного напыления, PVD / CVD оборудование » PVD установки » Установка электронно‑лучевого напыления TK-DZ02 для тонких плёнок
Установка электронно‑лучевого напыления TK-DZ02 для тонких плёнок
АРТИКУЛ:
TKDZ02
Товар в наличии
Минимальная сумма заказа в нашем магазине от 5000 руб.
Цены на нашем сайте актуальны при заказе от 20 000 рублей.
Характеристики
Модель: TK-DZ02
Бренд: TMAX
Производитель: Xiamen Tmax Battery Equipments Limited
Страна производства: Китай
Метод напыления: электронно-лучевое испарение
Камера: вертикальная цилиндрическая с боковой фронтальной загрузкой
Размер камеры: Ø500 мм × 650 мм
Равномерность толщины пленки: ≤±5%
Размер подложки: диаметр до 200 мм (до 8 дюймов)
Скорость вращения подложки: 0–40 об/мин (с плавной регулировкой)
Температура нагрева подложки: до 300 ℃
Предельный вакуум (базовое давление) ≤ 6,0 × 10⁻⁵ Па
Источник испарения : электронно-лучевая пушка (8 кВт) с каруселью на 6 тиглей
Управление: автоматическое (промышленный контроллер ПЛК + сенсорный экран)
Назначение: производство OLED-дисплеев, солнечных элементов, полупроводниковых структур
Гарантия: 12 месяцев
Цена: по запросу
- Официальная гарантия от производителя
Поделиться товаром
Преимущества нашей продукции
- Большой выбор оборудования на складе
- Разработка и производство нестандартного оборудования для исследований
- Поставка стандартного лабораторного и технологического оборудования
- Поставка стандартного лабораторного и технологического оборудования
- Комплексное снабжение государственных и муниципальных предприятий по 44-ФЗ и 223-ФЗ.
- Являемся официальными представителями и дилерами многих зарубежных брендов
- Собственное проектирование и изготовление лабораторного оборудования
Описание
TK-DZ02 — установка электронно‑лучевого напыления тонких плёнок для производства и исследований в области OLED‑дисплеев, солнечных элементов и полупроводниковых структур.
Конструктивной основой комплекса выступает вертикальная цилиндрическая вакуумная камера с удобной боковой загрузкой, габариты которой составляют 500 мм в диаметре и 650 мм в высоту. Встроенная электронно-лучевая пушка мощностью 8 кВт оснащена надежным карусельным механизмом на шесть тиглей, что позволяет инженерам последовательно наносить многослойные композитные покрытия из различных материалов без нарушения вакуума в течение одного непрерывного технологического цикла.
Высокая степень чистоты получаемых пленок строго гарантируется достижением базового давления на уровне 6,0 × 10⁻⁵ Па. Держатель образца рассчитан на работу с пластинами диаметром до 200 мм. Для обеспечения превосходной пространственной однородности формируемого покрытия применяется механизм вращения подложки с регулируемой скоростью до 40 оборотов в минуту, а также интегрированная система нагрева с максимальной рабочей температурой до 300 ℃. Полный контроль над вакуумной системой и всеми критическими параметрами осаждения реализуется посредством промышленного логического контроллера и интуитивно понятного сенсорного интерфейса, что минимизирует вероятность ошибки оператора и обеспечивает высокую воспроизводимость техпроцессов.
Похожие продукты
Похожие товары
Условия оплаты и доставки
Юридические лица
- Безналичный расчет
Физ. лица
- Безналичный расчет
- Наличный расчет в офисе продаж
Доставка
- Самовывоз со склада
- Доставка транспортной компанией
Оформить заказ
Для оформления заказа заполните форму и наш инженер свяжется с вами в ближайшее время!
Заказывайте также по телефону или по электронной почте:
Подбор оборудования
Вид оборудования
Бренд
Страна производства





