Установка вакуумного напыления TK-DZ01 с электронно‑лучевым и термическим испарением

TK-DZ01 — установка вакуумного напыления для прецизионного нанесения тонких покрытий методом электронно‑лучевого и термического резистивного испарения. Вертикальная водоохлаждаемая вакуумная камера Ø600 × 750 мм рассчитана на плоские подложки до Ø350 мм, а электронно‑лучевой источник 10 кВт с шестикарманным тиглем и два термических испарителя позволяют работать с широким набором материалов. Установка подходит для научных лабораторий, R&D‑центров и малосерийного производства, где требуется стабильное вакуумное напыление покрытий с равномерностью до ±5 %.

Система объединяет электронно-лучевой испаритель мощностью 10 кВт с 6-карманным тиглем и два резистивных источника суммарной мощностью 3000 Вт, что позволяет гибко работать как с металлами, так и с рядом функциональных материалов в рамках одного вакуумного цикла. Камера диаметром 600 мм и высотой 750 мм выполнена из нержавеющей стали с водяным охлаждением, а базовое давление до ≤ 5,0 × 10⁻⁵ Па после прогрева обеспечивает низкий уровень загрязнений и стабильность воспроизводимых процессов. Держатель подложки рассчитан на плоские подложки до Φ350 мм, оснащен нагревом до 300 °C с точностью ±1 °C и вращением 0–20 об/мин, что способствует получению равномерных пленок с отклонением не более ±5 %.

Установка ориентирована на нанесение оптических покрытий, формирование прозрачных проводящих и диэлектрических слоев, а также на задачи в области полупроводниковых и функциональных тонкопленочных материалов. Управление реализовано на базе PLC с сенсорной панелью, предусмотрены межблочные защиты по вакууму, охлаждению и питанию.