Главная страница » Каталог оборудования » Аддитивные и вакуумно-плазменные технологии » Установки вакуумного напыления, PVD / CVD оборудование » PVD установки » Установка электронно‑лучевого напыления PC-DZ01

Установка электронно‑лучевого напыления PC-DZ01

Оценка 5 из 5

В избранное

АРТИКУЛ:

PCDZ01

Товар в наличии

Минимальная сумма заказа в нашем магазине от 5000 руб.
Цены на нашем сайте актуальны при заказе от 20 000 рублей.

Характеристики

Модель: PC-DZ01
Бренд: TMAX
Производитель: Xiamen Tmax Battery Equipments Limited
Страна производства: Китай
Метод напыления: электронно-лучевое испарение (в комплекте); термическое резистивное испарение (опционально)
Камера: U-образная конструкция с фронтальной загрузкой
Размер камеры: 500 мм × 600 мм × 500 мм
Размер подложки: до 4 дюймов
Скорость вращения подложки: 5–60 об/мин (с плавной регулировкой)
Расстояние от источника до подложки: 300–350 мм
Температура нагрева подложки: до 600 ℃ ±1 ℃
Предельный вакуум (базовое давление): ≤ 6,7 × 10⁻⁴ Па
Время откачки: ≤ 20 мин (от 1 × 10⁵ Па до 5 × 10⁻³ Па)
Скорость натекания (утечка): ≤ 6,7 × 10⁻⁷ Па·л/с
Контроль толщины: кварцевые микровесы (QCM), диапазон измерений 0–99 999 Å
Источник электронно-лучевого испарения: 1 комплект, анодное напряжение 8 кВ, мощность 0–8 кВт
Тигель электронно-лучевого источника: водоохлаждаемый, 4 кармана по 11 мл
Источник термического испарения: опция, 5 В, до 300 А, 2 кВт, водоохлаждаемые электроды
Управление газом: 1-канальный регулятор массового расхода (MFC)
Входная мощность: 2000 Вт
Назначение: университетские лаборатории, научно-исследовательские институты, мелкосерийное производство
Гарантия: 12 месяцев
Цена: по запросу

ЗВОНИТЕ! +7 (499) 302-50-56

Поделиться товаром

Преимущества нашей продукции

Большой выбор оборудования на складе
Разработка и производство нестандартного оборудования для исследований
Поставка стандартного лабораторного и технологического оборудования
Поставка стандартного лабораторного и технологического оборудования
Комплексное снабжение государственных и муниципальных предприятий по 44-ФЗ и 223-ФЗ.
Являемся официальными представителями и дилерами многих зарубежных брендов
Собственное проектирование и изготовление лабораторного оборудования

Описание

PC-DZ01 — установка электронно‑лучевого напыления для нанесения тонких металлических и функциональных покрытий в высоком вакууме. Модель оснащена U‑образной вакуумной камерой напыления 500 × 600 × 500 мм, вращающимся держателем подложек до 4 дюймов, нагревом до 600 ℃ и электронно‑лучевым источником мощностью до 8 кВт с четырёхкарманным водоохлаждаемым тиглем. Установка подходит для НИОКР, университетских лабораторий и малосерийного PVD‑нанесения покрытий, где требуется испарение тугоплавких материалов и контроль толщины плёнки.

Установка построена на базе U-образной вакуумной камеры с фронтальной загрузкой, что упрощает доступ к технологической оснастке и обслуживание рабочих узлов. В стандартной конфигурации система оснащается электронно-лучевым испарителем с анодным напряжением 8 кВ и регулируемой мощностью до 8 кВт, а также водоохлаждаемым четырехкарманным тиглем, что позволяет стабильно осаждать материалы с высокой температурой плавления и обеспечивать высокую чистоту покрытия. Опционально возможна установка узла термического резистивного испарения для работы с низкоплавкими материалами. Равномерность покрытия достигается за счет вращения подложки в диапазоне 5–60 об/мин, а нагрев подложкодержателя до 600 ℃ с точностью ±1 ℃ повышает адгезию и способствует формированию пленок с заданной структурой. Контроль толщины в процессе осаждения осуществляется кварцевыми микровесами, что делает PC-DZ01 эффективным решением для задач тонкопленочной технологии, микроэлектроники и оптоэлектроники.