Оборудование для термического вакуумного напыления Technol ZHD600

Technol ZHD600 — оборудование для вакуумного напыления металлических, полупроводниковых и органических тонких плёнок методом термического резистивного испарения. Она используется в лабораториях, университетах, НИИ и опытно‑промышленных зонах, где требуется стабильное формирование функциональных покрытий. ZHD600 подходит для нанесения металлов с низкой температурой плавления — алюминия, магния, меди, серебра, золота, бария, висмута, цинка, сурьмы — а также для органических материалов и специфических соединений, включая оксид молибдена и фторид лития.

Вертикальная цилиндрическая камера диаметром 650 мм и высотой 800 мм обеспечивает удобный доступ к рабочей зоне и позволяет размещать образцы различных размеров. Конструкция стола подложки (плоский или зонтичный тип) делает установку универсальной для широкого круга задач. Неравномерность нанесения не превышает ±5 %, что важно для исследований и малосерийного производства. Возможность установки 2–3 групп испарительных источников позволяет выполнять многослойное и комбинированное напыление, что делает ZHD600 востребованной при разработке перовскитных солнечных элементов, литиевых аккумуляторов, OLED‑структур, гибкой электроники и других современных технологий.

Система управления на базе PLC и ПК упрощает настройку режимов, помогает создавать технологические рецепты и обеспечивает высокую повторяемость процессов. Компактные габариты и интегрированная конструкция облегчают установку и обслуживание оборудования. Благодаря мощности от 12 кВт, надёжности и гибкости конфигурации ZHD600 является оптимальным решением для тех, кому требуется PVD‑оборудование для лаборатории или универсальная установка для нанесения высококачественных тонких плёнок.