Установка вакуумного магнетронного напыления BY-JS05 с двумя мишенями
АРТИКУЛ:
BYJS05
Товар в наличии
Минимальная сумма заказа в нашем магазине от 5000 руб.
Цены на нашем сайте актуальны при заказе от 20 000 рублей.
Характеристики
Модель: BY-JS05
Бренд: TMAX
Производитель: Xiamen Tmax Battery Equipments Limited
Страна производства: Китай
Метод напыления: магнетронное распыление (конфигурация с двумя мишенями)
Камера: цилиндрическая камера из нержавеющей стали
Размер камеры: внешние габариты Ø260 мм × 500 мм; внутренние Ø210 мм × 270 мм
Размер подложки: настраиваемый держатель, диаметр до 200 мм
Предельный вакуум (базовое давление): ≤ 5 × 10⁻⁵ Па
Рабочее давление: 0,5–5 Па
Время откачки: ≤ 10 мин (до 10⁻³ Па)
Вакуумная система: пластинчато-роторный насос (4,4 л/с) + турбомолекулярный насос (300 л/с)
Система охлаждения: водяная (для мишеней) и воздушная (для насоса)
Управление: сенсорный интерфейс с мониторингом толщины и потока газа в реальном времени
Входная мощность: <3000 Вт (AC 220 В 50 Гц / 110 В 60 Гц)
Габариты: 610 мм × 420 мм × 490 мм
Вес: 100 кг
Назначение: интеграция в перчаточный бокс, университетские лаборатории, исследования полупроводников, материаловедение
Гарантия: 12 месяцев
Цена: по запросу
- Официальная гарантия от производителя
Поделиться товаром
Преимущества нашей продукции
- Большой выбор оборудования на складе
- Разработка и производство нестандартного оборудования для исследований
- Поставка стандартного лабораторного и технологического оборудования
- Поставка стандартного лабораторного и технологического оборудования
- Комплексное снабжение государственных и муниципальных предприятий по 44-ФЗ и 223-ФЗ.
- Являемся официальными представителями и дилерами многих зарубежных брендов
- Собственное проектирование и изготовление лабораторного оборудования
Описание
BY-JS05 — установка вакуумного магнетронного напыления с двумя мишенями для нанесения тонких покрытий в лабораториях материаловедения, исследованиях полупроводников и работе с перчаточными боксами. Данная установка является высокоэффективным инструментом для создания однослойных и многослойных функциональных покрытий, включая проводящие, диэлектрические, оптические и твердые пленки, что делает ее идеальной базой для материаловедения и передовых исследований полупроводников.
Основой конструкции служит надежная вакуумная камера из нержавеющей стали с внутренними габаритами Ø210 мм × 270 мм. Наличие двух магнетронных источников распыления позволяет гибко проводить совместное осаждение или последовательное послойное напыление различных материалов в рамках единого непрерывного технологического цикла. Держатель подложки кастомизируется и рассчитан на работу с пластинами диаметром до 200 мм. Высокая производительность откачки и исключительная чистота процесса обеспечиваются комбинированной вакуумной системой, состоящей из пластинчато-роторного и мощного турбомолекулярного насосов.
Данный комплекс позволяет достичь базового давления ≤ 5 × 10⁻⁵ Па, при этом предварительная откачка камеры до уровня 10⁻³ Па занимает не более 10 минут. Теплоотвод от магнетронных мишеней осуществляется с помощью контура водяного охлаждения, гарантируя стабильность при длительных сессиях. Управление всем рабочим процессом реализовано через интуитивно понятный сенсорный интерфейс, который поддерживает точный мониторинг толщины осаждаемой пленки в реальном времени и тонкую регулировку газовых потоков, предоставляя инженеру полный контроль над параметрами формирования покрытия.
Похожие продукты
Похожие товары
Условия оплаты и доставки
Юридические лица
- Безналичный расчет
Физ. лица
- Безналичный расчет
- Наличный расчет в офисе продаж
Доставка
- Самовывоз со склада
- Доставка транспортной компанией
Оформить заказ
Для оформления заказа заполните форму и наш инженер свяжется с вами в ближайшее время!
Заказывайте также по телефону или по электронной почте:
Подбор оборудования
Вид оборудования
Бренд
Страна производства