Трехзонная трубчатая печь ZYLAB Three‑Zone Tube Furnace O1200‑IIIT для процессов CVD

Установка Three‑Zone Tube Furnace O1200‑IIIT от ZYLAB – специализированная система для процессов химического осаждения из паровой фазы (CVD), а также для исследований и разработок в области наноматериалов, тонкоплёночных покрытий, графена и микроэлектроники. Благодаря трёхзонной конструкции каждый из трёх участков может работать независимо, что позволяет создавать непрерывную зону равномерного нагрева или задавать разные температурные профили для сложных процессов. Устройство оснащено сенсорным интерфейсом и программируемыми алгоритмами (до 15 заранее заданных кривых и 30 этапов программирования), что значительно повышает воспроизводимость и повторяемость экспериментов.

Максимальная рабочая температура до 1200 °C и непрерывная работа при ≤ 1100 °C открывают широкий спектр применения — от синтеза высококачественного графена и углеродных нанотрубок до осаждения оксидов, нитридов и модификации катализаторов. Кварцевая трубка доступна в нескольких диаметрах (Φ50‑100 мм) и длиной 1400 мм, что даёт гибкость по размещению подложек и загрузке партии.

Дополнительные преимущества включают надёжную вакуумную фланцевую систему с возможностью достижения до ≤ 10 Па, двойную оболочку корпуса с активным охлаждением (температура внешней поверхности ≤ 50 °C) и высокостойкие нагревательные элементы, защищённые от коррозии. Система подходит как для исследовательских лабораторий, так и для опытно‑производственных линий.