Установка вакуумного напыления TMAX-PD-ZD01

Установка вакуумного напыления TMAX-PD-ZD01 — это компактная высоковакуумная PVD-система нового поколения, предназначенная для нанесения тонких плёнок металлов, органики и функциональных материалов. Благодаря скорости достижения высокого вакуума около 15–20 минут, эта установка значительно превосходит типичные лабораторные системы, сокращая время простоя и повышая эффективность работы в условиях интенсивных исследований.

Камера из нержавеющей стали 304 обеспечивает устойчивость к коррозии и минимальное загрязнение, а оптимизированные газовые каналы повышают чистоту процесса напыления. Система поддерживает работу с двумя или тремя испарительными источниками, что делает возможным нанесение многослойных структур, выполнение ко-испарения и создание градиентных плёнок, что востребовано в научных центрах, R&D лабораториях и сфере разработки передовых материалов.

Подложкодержатель поддерживает вращение до 20 об/мин, что обеспечивает высокую равномерность наносимого слоя (<5 % на 120 мм). Компактные размеры делают установку подходящей даже для небольших лабораторий, а энергопотребление 2 кВт позволяет использовать её без серьёзной модернизации электрической инфраструктуры. Благодаря стабильному вакууму, возможности длительного удержания давления и высокой повторяемости процессов, эта PVD-система является идеальным выбором для создания электродных структур, подготовки SEM-образцов, OLED-материалов и тонкоплёночных функциональных покрытий.