Установка вакуумного напыления TMAX-BY-ZD03

Установка вакуумного напыления TMAX-BY-ZD03 — компактная лабораторная система, объединяющая два метода формирования тонких плёнок: магнетронное распыление и термическое испарение углеродного волокна. Благодаря универсальному функционалу оборудование позволяет эффективно подготавливать образцы для SEM, TEM, EBSD и других методов анализа поверхности. Кварцевая камера обеспечивает визуальный контроль и стабильность процесса, а прочная конструкция гарантирует устойчивость к нагреву и механическим воздействиям.

Магнетронное распыление поддерживает работу с широким спектром металлов: золотом, серебром, платиной, хромом, алюминием и медью. Диапазон напряжения 0–1600 В и ток до 50 мА позволяют тонко регулировать параметры напыления, обеспечивая равномерное нанесение проводящих плёнок, устраняющих зарядовый эффект на диэлектрических образцах при SEM-исследованиях. Удержание давления в рабочей зоне и быстрый переход к вакууму 2 Па меньше чем за 5 минут позволяют значительно увеличить пропускную способность лаборатории.

В режиме термического испарения углеродное волокно формирует сверхтонкие углеродные покрытия (<1 нм), необходимые для TEM, анализа полимеров, биологических тканей и других материалов, чувствительных к электронному пучку. Диапазон тока до 100 А и время испарения 0–1 секунды позволяют добиться высокой точности и стабильности формирования углеродной плёнки.

Установка TMAX-BY-ZD03 проста в обслуживании, обеспечивает высокую повторяемость процессов и защищена от перегрева, скачков напряжения и нарушений вакуума. Благодаря компактности, многофункциональности и надёжности оборудование идеально подходит для университетских лабораторий, научных центров и компаний, работающих в области материаловедения, микроэлектроники и нанотехнологий.