ВЧ‑магнетронная PVD установка SD-JS01 для металлов и диэлектриков

SD-JS01 — компактная ВЧ‑магнетронная PVD установка для вакуумного напыления металлов, диэлектриков, полупроводниковых структур и оптических покрытий. Это оптимальное решение для научно-исследовательских лабораторий и мелкосерийного прототипирования, специализирующихся на материаловедении и функциональных покрытиях. Рабочая камера имеет компактные габариты 150 мм × 120 мм, что в сочетании с базовым рабочим давлением 5 Па обеспечивает быструю откачку, экономию инертных газов и требуемую чистоту рабочего процесса.

Установка комплектуется надежным ВЧ-генератором с регулируемой мощностью от 1 до 500 Вт, работающим на промышленной частоте 13,56 МГц. Ключевым технологическим преимуществом является наличие системы автоматического согласования импеданса, которая сводит к минимуму необходимость ручной подстройки и гарантирует высокую стабильность плазменного разряда при работе со сложными изолирующими мишенями (например, оксидами или керамикой). Эргономичная конструкция узла магнетрона позволяет осуществлять быструю замену стандартных мишеней диаметром 50 мм, а максимальная скорость осаждения достигает 8 нм/мин при отличной пространственной однородности пленки. Аппарат поддерживает программируемое управление с возможностью сохранения рецептов, обеспечивая безупречную воспроизводимость экспериментов.