Главная страница » Каталог оборудования » Аддитивные и вакуумно-плазменные технологии » Установки вакуумного напыления, PVD / CVD оборудование » PVD установки » Промышленная установка электронно‑лучевого напыления PC-DZ02 с двумя пушками

Промышленная установка электронно‑лучевого напыления PC-DZ02 с двумя пушками

Оценка 5 из 5

В избранное

АРТИКУЛ:

PCDZ02

Товар в наличии

Минимальная сумма заказа в нашем магазине от 5000 руб.
Цены на нашем сайте актуальны при заказе от 20 000 рублей.

Характеристики

Модель: PC-DZ02
Бренд: TMAX
Производитель: Xiamen Tmax Battery Equipments Limited
Страна производства: Китай
Метод осаждения: электронно-лучевое испарение (EBPVD)
Источники испарения: 2 электронно-лучевые пушки
Мощность источников: регулируемая, от 0 до 10 кВт
Камера: U-образная камера с фронтальной дверцей и смотровыми окнами
Габариты камеры: 1200 × 900 × 800 мм
Вместимость оснастки: до 20 подложек Ø 4 дюйма
Система нагрева подложек: резистивный нагреватель, температура до 400 ℃ ± 1 ℃
Равномерность покрытия: обеспечивается вращением подложкодержателя в процессе напыления
Система управления: автоматическая, PLC + сенсорный дисплей
Назначение: опытное и мелкосерийное производство, лабораторные исследования (R&D)
Гарантия: 12 месяцев
Цена: по запросу

ЗВОНИТЕ! +7 (499) 302-50-56

Поделиться товаром

Преимущества нашей продукции

Большой выбор оборудования на складе
Разработка и производство нестандартного оборудования для исследований
Поставка стандартного лабораторного и технологического оборудования
Поставка стандартного лабораторного и технологического оборудования
Комплексное снабжение государственных и муниципальных предприятий по 44-ФЗ и 223-ФЗ.
Являемся официальными представителями и дилерами многих зарубежных брендов
Собственное проектирование и изготовление лабораторного оборудования

Описание

PC-DZ02 — установка электронно‑лучевого напыления EBPVD для опытного и мелкосерийного производства тонкоплёночных покрытий. Система оснащена U-образной рабочей камерой с фронтальной загрузкой, обеспечивающей удобный доступ к внутрикамерной оснастке и источникам испарения.

Наличие двух независимых электронно-лучевых пушек (мощностью до 10 кВт) позволяет проводить послойное осаждение различных материалов или их коиспарение в едином вакуумном цикле. Установка спроектирована с учетом требований к высокой однородности покрытий по площади. Внутрикамерная оснастка (подложкодержатель карусельного типа) вмещает до 20 кремниевых пластин или иных подложек диаметром 4 дюйма (100 мм) за один процесс. Интегрированный ассистирующий нагрев подложек до 400 °C с прецизионным поддержанием температуры (± 1 °C) гарантирует высокую адгезию осаждаемых слоев и заданную морфологию пленки.

Управление технологическим процессом и вакуумным циклом полностью автоматизировано на базе промышленного контроллера (PLC) с выводом параметров на HMI сенсорный экран. PC-DZ02 является оптимальным решением для пилотного производства, опытно-конструкторских работ (НИОКР), а также прототипирования в микроэлектронике, оптике и материаловедении.