Двухисточниковая установка термического вакуумного напыления BY-ZD04

BY-ZD04 — двухисточниковая установка термического вакуумного напыления для нанесения многослойных металлических и органических плёнок. Система использует два независимых испарительных источника, вакуумную камеру Ø300 × 360 мм со стеклянным колпаком и основанием из нержавеющей стали, нагрев подложки до 250 ℃ и PLC‑управление с сенсорным интерфейсом. Установка подходит для лабораторных исследований в электронике и материаловедении, где требуется последовательное вакуумное напыление покрытий из разных материалов.

Конструктивно установка выполнена на базе стеклянной вакуумной камеры колпакового типа с основанием из нержавеющей стали, что обеспечивает удобный доступ к технологической оснастке и хороший визуальный контроль процесса. Два независимых источника испарения позволяют реализовывать как последовательное осаждение многослойных структур, так и соиспарение для получения сплавов, легированных и композиционных пленок.

Подложкодержатель рассчитан на образцы диаметром до 100 мм, а нагрев подложки до 250 ℃ расширяет технологические возможности при нанесении металлических и функциональных тонкопленочных покрытий. Для данной модели заявлена равномерность покрытия не хуже ±5 % в рабочей зоне диаметром 80 мм, а управление процессом осуществляется через ПЛК и сенсорную панель, что повышает повторяемость режимов и снижает влияние человеческого фактора. Установка подходит для исследований в области солнечных элементов, OLED-структур и других тонкопленочных технологий.